电子级超纯水项目

项目规模：20m³/h
所属行业：半导体
产水水质要求：Resistivity ≧ 18 MΩ.cm (25℃)，Trace Metal < 5 ppt (genal spec)，Silicon Dioxide < 0.1 ppb，TOC < 1 ppb，Dissolved Oxygen <25 ppb，Boron < 0.1 ppb
设计原则：砂碳滤系统+2B3T 系统+ RO 系统 + EDI+精处理

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案例描述

项目介绍：
用当地的自来水为水源。本超纯水处理系统设计为整套系统为全自动控制。项目的具体情况专门设计，选择最适合本项目水质的砂碳滤器预处理、2B3T、RO、EDI 膜元件、精处理单元。

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